Nexa EFEM 晶圓傳送系統

Nexa EFEM 晶圓傳送系統

EFEM（設備前端模組）整合了真空/大氣晶圓傳送機器人，為半導體製造提供高吞吐量和符合無塵室要求的晶圓傳送。

所有 Nexa 傳動組件均採用精密材料製造，並根據國際 ISO 與德國工業標準（DIN）進行品質檢驗，確保在極端自動化工業環境下發揮最優異的性能。